S-620炉管清洗机

一、S-620炉管清洗机

1.安装条件

环境温度: 17-24℃

相对湿度: <65%

电源: 380V/50 Hz

千级超净间

2.设备用途

炉管清洗机，通过湿法清洗技术，‌能够有效地去除直径为0.1—20微米的液态或固态粒子，‌同时也能脱除部分气态污染物。

3.技术参数

炉管清洗机主要由喷淋系统、清洗液抽取和排放系统、烘干系统、自动溶剂配比功能以及零排放系统、电气控制等组成。

(1)、喷淋系统‌：能使清洗液压力和流量平衡，能消除喷射死角，实现清洗液完全渗透到SMT元件如BGA、CSP和倒装片等超低间隙元件的底部。喷力系统包括喷嘴形状及位置、垂直喷射泵的喷射压力及流量，属主要指标。

(2)、清洗液抽取和排放系统‌：清洗液、去离子水的抽取、排放方式及控制是主要指标。清洗槽是炉管清洗机的核心部分，用于容纳清洗液和炉管，确保炉管在清洗过程中完全浸泡在清洗液中，以达到最佳的清洗效果。

(3)、烘干系统‌：烘干系统确保清洗后的物件彻底干燥，以防止再次污染。

(4)、自动溶剂配比功能‌：溶剂槽分为溶剂原液槽和稀释槽两个独立的槽体，原液槽用于存放未经过稀释配比的清洗溶剂原液，稀释槽用于存放经过稀释配比后直接用于清洗的稀释溶剂。溶剂槽通过溶剂管理系统根据使用者要求将溶剂和去离子水按比例混合，有效节省溶剂配比时间，并排除人工配比的误差。

(5)、零排放系统‌：混合了清洗剂的漂洗水也不能直接排放，因此零排放系统确保了清洗过程的环保性。给排水/废液系统，给水管路为英制接口，一路去离子水，管路材质：CL-PVC。给酸管路为英制接口，一路去HCL酸，管路材质：PVDF。一路HF酸，管路材质：PVDF。排废液系统为：一路排废稀酸，管路材质PP，一路排废浓酸，管路材质PVDF。

（6）、电控单元及软件系统：

（1） 采用可编程控制器控制全操作过程，即可全自动操作，也可手动操作。工艺过程由PLC控制器+触摸屏控制，可选择设置多种用户工艺菜单，并对每个菜单的内容如：时间、速度参数进行设置。

（2） 系统软件还具有密码权限设置，故障显示及报警功能。设备出现故障时，系统会停止工作并显示错误信息、报警以提示更改和维修。

·             4.设备指标

（1）‌支持2--12英寸的石英炉管或其他石英配件的清洗。；

（2）支持化学液C.C.S.S.、L.C.S.S

（3）全面支持SECS/GEM通讯协议；

（4）中文或英文主界面，运行时能实时查看运行情况，操作界面简洁有序；

（5）客户可选择自动运行或手动运行，手动运行时可单步操作；

（6）‌控温精度通常在±1℃以内，‌以保证清洗过程中的温度稳定性

（7）EMO可正常运行；

（8）满足设备报警和安全联锁的要求；

（9）一般为0~999MIN，‌可根据实际工艺时间而定；

（10）MTBF≥200h；