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2、备品备件:陶瓷/Shower Head/ESC/Process Kits/Upper Chamber/RF Match
3、维修:真空泵销售,真空泵翻新维修,干泵、冷泵、分子泵
4、技术服务:技术支持、设备日常保养,Scrubber PM
5、设备及零件设计加工:定制设备,涂胶显影,键合机,湿法刻蚀,清洗机,溅射台,RIE,ICP,PECVD等
6、机械电气维修:半导体机械、电气维修