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离子注入机

更新时间:2023-12-25
离子注入是一种向衬底中引入可控制数量的杂质,以改变其电学性能的方法。它是一个物理过程,不发生化学反应。离子注入在现代硅片制造过程中有广泛应用,其中最主要的用途是掺杂半导体,离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度。
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离子注入是一种向衬底中引入可控制数量的杂质,以改变其电学性能的方法。它是一个物理过程,不发生化学反应。离子注入在现代硅片制造过程中有广泛应用,其中最主要的用途是掺杂半导体,离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度。

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