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炉管是对硅片加热的场所,由垂直的石英钟罩、多区加热电阻丝和加热管套组成, 硅片传输系统的主要功能是在炉管中装卸硅片,硅片装卸由自动机械完成,自动机械在片架台、炉台、装片台、冷却台之间运动,气体分配系统将正确的气流传送到石英腔体,维持炉内的气氛。
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